造成renishaw激光干涉儀出現測量誤差的原因有哪些？

點擊次數：3519 更新時間：2021-01-08

　　renishaw激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體。儀器采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。

　　激光干涉儀雖然有這多優勢，但是我們在使用中往往會出現檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時，會對設備產生懷疑。那么，今天我們來聊一聊引起激光干涉儀測量誤差的部分原因。

　　1、阿貝誤差

　　因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。

　　正確方式：renishaw激光干涉儀校準時線性鏡組的安裝高度應該盡量靠近被測軸，使激光光束與運動軸重合（或盡量靠近），減小阿貝誤差。

　　2、環境因素

　　環境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。

　　同時環境補償單元中材料溫度探頭能實時高精度測量被測設備溫度，對其進行溫度補償。但是往往因為操作人員將材料溫度探頭放置在錯誤的位置，致使采集的數據不能真實反映被測物體溫度狀態，從而增大測量誤差。

　　正確方式：在線性測量中，需要開啟環境補償單元，并正確設置補償材料的種類，放置材料溫度探頭的位置。在高精度的測量中，需要給予環境補償單元以及被測物充分的恒溫時間。

　　3、余弦誤差

　　激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。

　　處理方法：若renishaw激光干涉儀進行測量出現余弦誤差，則激光讀數將會小于原本應有的數值。因此，通過“輕微”調整云臺的俯仰及偏轉旋鈕直到取得的激光讀數，將能消除軸上的余弦誤差。

　　4、死程誤差

　　死程誤差是在線性測量過程中與環境因素改變有關的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會發生在定標后以及測量過程中的環境改變。

　　處理方法：renishaw激光干涉儀在設定定標位置時，固定反射鏡和移動鏡組應盡量彼此鄰接，以此減小死程誤差。